Нанометрология —  наука, отличающаяся измерениями, методами и средствами их обеспечения единствами и способами достижения требуемой точности в диапазоне нанометров.

Основная  задача  нанометрологии.

Основная задача нанометрологии - реализация наношкалы в нанометровом и прилегающем к нему диапазонах.

Из этого вытекают следующие задачи:

1. Первая задача нанометрологии - обеспечение единства измерений геометрических параметров нанообъекта, опирающаяся на метрологию линейных измерений.

2. Вторая задача нанометрологии - измерения механических, электрических, магнитных, оптических и многих других параметров и свойств объекта нанотехнологии требуют осуществления позиционирования зонда измерительного устройства в требуемое место с эталонной точностью.

Основными документами по нанотехнологиям в России являются: «Концепция развития работ в области нанотехнологий на период до 2010 года», «Программа координации работ в области нанотехнологий и наноматериалов в РФ» и «План действий по стимулированию развития наноиндустрии».

Согласно этим документам рынок на нотехнологий разделен на три больших сегмента, два из которых включают, научно-исследовательские работы, научное, технологическое и метрологическое оборудование.

Направления работ в области нанометрологии:

-  Разработка рабочего эталона (установки высшей точности) на базе приборов нанометрового диапазона с интерференционными и другими датчиками перемещений.

-  Разработка комплекса параметрических мер для калибровки приборов нанометрового диапазона, а также для передачи размера единицы длины в нанометровом диапазоне от первичного эталона к рабочему.

-  Разработка Государственной поверочной схемы для передачи размеров единицы длины от государственного исходного эталона к рабочим средствам измерений.

-  Разработка алгоритмов и программного обеспечения для выполнения измерений и анализа погрешностей результатов измерений.

-  Разработка нормативно-технической документации, включая методику испытаний и поверки средств измерений на приборах нанометрового диапазона геометрических параметров двух - и трехмерных наноструктур.

-  Законодательное оформление разработанного рабочего эталона в качестве Государственного рабочего эталона в области измерений нанометрового диапазона.

-  Организация работ по международному сличению мер линейных размеров.

-  Создание Центра нанометрологии и нанодиагностики.