Нанотехнология – бурно развивающаяся область науки

Созданные в НИЦПВ меры малой длины, сформированные на поверхности кристалла кремния, по сути «нанометрическая линейка»

Научно-технический прогресс сегодня достиг такого уровня, что используемая при исследованиях аппаратура должна быть сверхточной и совершенной, а для изготовления ее деталей требуются измерительные приборы эталонной точности. Совсем недавно наивысшая точность изготовления в производстве составляла доли микрона. Сейчас требуется точности измерений в 1000 раз больше.

И здесь не обойтись без растровых электронных или атомно-силовых микроскопов – этих уникальных по своим параметрам и по стоимости устройств, позволяющих проникнуть в нанометровый мир измерений. Однако при этом возникает проблема метрологического обеспечения измерений, заключающаяся в привязке шкалы этих измерительных устройств к эталону метра.

Все ведущие страны мира решают задачу практической реализации «наношкалы», что «подстегивается» потребностями нанотехнологии – этой бурно развивающейся области науки, техники, экономики. Данную проблему решили ученые ОАО «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (НИЦПВ), который возглавляет генеральный директор, профессор Павел Андреевич Тодуа.

Созданные в НИЦПВ меры малой длины, сформированные на поверхности кристалла кремния, по сути «нанометрическая линейка», аналогов которой в мире нет. Высокий профессионализм сотрудников НИЦПВ позволил России на 10 лет опередить американских ученых, давно работающих над решением этой проблемы.

Черняков Виктор Николаевич, Невзорова Лидия Николаевна, Калейдин Владимир Валерьянович, Тодуа Павел Андреевич, Желкобаев Жумабек Есмуханович

За создание «нанометрической линейки» в 2004 году сотрудники НИЦПВ получили премию правительства РФ по науке и технике. Важнейшие направления деятельности НИЦПВ связаны с метрологией и стандартизацией в нанотехнологиях.

НИЦПВ возглавляет национальный Технический комитет по стандартизации, который так и называется «Нанотехнологии и наноматериалы». В него входят многие академические институты, ведущие вузы страны, например, Московский физико-технический институт, Московский институт стали и сплавов, промышленные предприятия и объединения.

Технический комитет «Нанотехнологии и наноматериалы» тесно сотрудничает с техническими комитетами соответствующего профиля Международной организации по стандартизации ИСО и Международной электротехнической комиссии – МЭК. Это связано с необходимостью создания взаимоувязанной мировой системы измерений и гармонизацией национальных стандартов в области нанотехнологий.

На основе «нанометрической линейки» созданы уже четыре ГОСТа, которые вводятся в действие с февраля 2008 года, близки к завершению еще два. Метрология для нанотехнологий – нанометрология, широко используется при производстве микросхем в полупроводниковой промышленности. И сделанный в НИЦПВ интерферометр позволяет с нанометровой точностью осуществлять позиционирование при создании микросхем.

Учеными центра также создан прибор, измеряющий параметры, которые характеризуют качество полупроводниковых пластин, используемых в полупроводниковом производстве. Тем самым осуществляется входной контроль исходного материала.