Функциональный анализ методики выполнения измерений применяют для аналитического получения оценки погрешности измерений по ее составляющим. Функциональный анализ МВИ может проводиться на двух уровнях:

1. Качественный (выявление возможных причин возникновения погрешностей, оценка предполагаемого характера их изменения; выявление аргументов систематических составляющих погрешностей и предполагаемых видов функции; априорная оценка предполагаемого вида распределения случайных составляющих).

2. Количественный (проводится после качественного и включает оценку порядка, предельных или конкретных значений погрешностей – в зависимости от вида погрешности и полноты имеющейся информации).

Метод оценивания погрешности измерений по ее составляющим базируется на объединении известных значений всех значимых составляющих. Его можно использовать для оценки интегральных погрешностей от выбранного источника или от нескольких источников (инструментальной погрешности при измерении методом сравнения с мерой, «погрешности условий» при воздействии влияющих величин на объект измерений и средства измерений и т.д.), либо для оценки погрешности измерения в целом.

В метрологической литературе широко описываются и методы исключения погрешностей, которые в основном предназначены для «борьбы» с систематическими составляющими. К этим методам можно отнести профилактику погрешностей, введение поправок и компенсацию погрешностей.

Профилактика погрешностей предполагает:

- применение исправных, стабильных и помехоустойчивых средств измерений;

- выявление теоретических погрешностей метода или средств измерений и их исключение или учет до начала измерений;

- стабилизацию условий измерений и защиту средств и объектов измерений от нежелательных воздействий влияющих величин (и физических полей);

- строгое соблюдение правил использования средств измерений и методик выполнения измерений;

- обучение операторов и контроль их квалификации.